Furnace

Structure

Heavy duty steel casing Energy efficient Al2O3

 fibrous thermal insulation

Power 

Consumption

1.75KW

Input Voltage

AC110V 

Temperature

1200 Max. for < 1hr
1100 for continuously heating
Heating rate <= 10C/min

Processing Tube

Quartz tube  50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

Heating Zone

Total heating zone length: 8" (200mm); Constant 

temp.zone: 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 900 °C.

Two thermal blocks are included and must be

placed inside tue as shown picture below-right

Temperature 

Controller

• PID automatic control and auto-tune function.


• 30 programmable segments for precise control 


• of heating rate, cooling rate and dwell time.


• Overheating & broken thermocouple protection.


• Over temperature protection and alarm allows


•  for operation without attendant(s).


• +/- 1 ºC temperature accuracy.     

 Heating Elements

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

Digital Vacuum

Gauge

• Corrosion-proof Capacitance Diaphragm Gauge with ceramic


•  coated sensor head speciallydesigned for vacuum 


• measurements with presence of corrosive gases.Gauge 


• is installed on the vacuum flang (left side) of tube furnace and 


• provides a wide measure range (10^-5 ~ 1000 torr).Accurate 


• pressure reading


•  with any mixed gases

Two Channel 

Ga Mixing Station

• Two floating flow meters 16 to 100 mL/min flow rate range


• Three mechanical pressure gauges (mixing tank): -0.1-0.15 MPa,


•  (0.01 MPa/grit)

    Vacuum needle valves are made of SS304

    Three Pipe fittings for 1/4" pipe (nylon or stainless steel) on the back

    panel

    Compact size:  340Lx300Dx 180H mm ( 13.4"x12"x7")

• Net Weight: 14 lbs


• No power required

Oxygen 

Monitoring  

   An Oxygen Sensor can be used to monitor the oxygen level of gas

  used in CVD systems for preventing or reducing oxidation.

Vacuum 

Flanges 

and Fittings

   Vacuum fittings in standard package:

• one Digital vacuum gauge w/ 0.00001 ~ 1000 torr 


• measurement range


• one 1/4" swagelok tube connector


• two KF-25 quick clamps


• one 600mm length SS vacuum bellows

Vacuum Pump

• Model: EQ-2TW-4C two step high speed vacuum pump


• Voltage: The voltage of pump will be the same as the tube


•  furnace.


• Pumping rate: 8CFM, 226L/min

Vacuum level in the furnace system can reach 5x10-2 torr

Power: 3/4 HP (500W)

Oil volume: 1000ml

Net Weight

100 lbs

Product

Dimensions

• Furnace: 340 x 300 x 400 mm


• Vacuum Pump: 440 x 160 x 300 mm


• Gas Station: 340 x 300 x 180 mm

Shipping 

Weight

200lbs

Shipping 

Dimensions

45x45x35"

Application

Notes

• From 7/15/08, MTI calibrate each each furnace by NIST 


• certificated Omega CL3515R 


• precision Temperature calibrator, and pre-set temperature 


• off (SC value) in controller before shipping.


• In order to obtain accurate temperature inside tube furnace, you need to calibrate temperature by yourselves.